Fortschritte in der Halbleiterfertigung Revolution bei EUV-Lithografie steigert Energieeffizienz Durch ein vereinfachtes optisches System könnte die Technologie des Okinawa Institute of Science und Technology die Branche verändern. Sie ermöglicht neue Möglichkeiten für nachhaltige und kosteneffiziente Halbleiterproduktion. Martin Probst 26. August 2024